基于MATLAB,的Nomarski棱镜优化设计
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基于MATLAB,的Nomarski棱镜优化设计

2022-10-20 20:30:03 来源:网友投稿

zoޛ)j馓h#�L6材料为石英晶体,假设光轴倾角ν=-9.5°,偏振光入射角αi=-4.5°,晶体厚度d=2.5 mm,入射点坐标x=325 mm。以楔角γ和相干平面距离h作为变量,得到关系曲线如图4所示。从曲线图可以看出,相干平面距离h随楔角γ的增加单调递减。当γ∈[0.1°,0.2°]区间递减时,相干平面距离h随楔角的变化显著,而当γ≥0.8°时,相干平面距离随楔角变化越来越少。根据相干平面与物镜后焦平面重合特性,以及结构尺寸来确定合理的相干平面距离,从而选取合适的楔角γ。

3.2晶体光轴倾角ν与相干平面距离h间的关系取楔角γ为0.2°,将光轴倾角ν与相干平面距离h设置为变量,其余参数与讨论γh关系相同,利用MATLAB程序得到光轴倾角ν与相干平面距离h的关系曲线如图5所示。从曲线图可知,ν与h呈近似余弦变化。当ν∈[-90°,0°]时,h为正值;当ν=-55°左右时h有最大值;而ν∈[0°,90°]时,h为负值,即相干平面进入到棱镜里面,且在ν=55°左右时h有最小值,这时就相当于一个Wollaston棱镜。在高倍物镜中,后焦面往往是在物镜里面,因此从系统整体结构要求来说,Wollaston棱镜是不可能符合落射式微分干涉相衬显微镜的设计要求。

3.3偏振光入射角αi与相干平面距离h间的关系在不改变其他参数的情况下,假设光轴倾角ν=-9.5°,在MATLAB程序中将入射角αi及相干平面距离h设为变量,可得到关系曲线如图6所示。从图中可以看出,h的正负与αi的大小无关,只影响h值的大小,相干平面距离正负性是由光轴倾角ν决定,入射角αi的取值范围在±10°以内能取得良好的相干平面距离。

3.4晶体光轴倾角ν与分束角ε的关系取楔角γ=0.2°,入射角αi=-4.5°,晶体厚度d=2.5 mm,入射点坐标x=325 mm,将光轴倾角ν设置为变量,取值范围为0°~180°,通过MATLAB程序可得到ν与出射光线夹角βo、βe的曲线关系如图7所示,由图可知出射角βo不随光轴倾角的变化而改变,出射角βe则随光轴倾角呈函数变化。当ν=-90°时,出射角βe=-4.5°,即入射角αi=βe=-4.5°。当ν=0°、-180°时出射角βe有最大值,因为分束角ε=βe-βo,此时分束角具有最大值,也证明了当楔角为一确定值时,Wollaston棱镜具有最大分束角。根据分束角与出射光束角βo、βe的关系,通过MATLAB程序可得到光轴倾角ν与分束角ε的关系曲线如图8所示。分束角ε直接决定出射光束横向剪切量的大小,且横向剪切量应小于或等于物镜的最小分辨率。显微物镜的分辨率可由下式求得[9]:σ=0.61λNA(30)式中NA为显微物镜的数值孔径。

由式(30)求得显微物镜最小分辨率,再根据物镜的焦距可以确定棱镜分束角ε,由于分束角非常小,可以近似于ε≤σ×180f×π(31)式中f为物镜焦距。

3.5偏振光入射角αi与相干平面倾角η间的关系在微分干涉相衬显微成像系统中,Nomarski棱镜干涉场是倾斜的,所以必须转动棱镜改变入射角αi,使干涉场与系统光轴相互垂直,由图2可知,当αi与η大小相等、方向相反时,可满足干涉场与系统光轴相互垂直的条件,在MATLAB程序中,将αi与η作为变量,其余参数不变,可得到两者间关系曲线如图9所示,从曲线图可以看出相干平面倾角η随入射角αi呈波动变化,而入射角αi在±10°以内可以取得符合条件的倾角η值。4实例应用分析与设计现以10倍无限远平场消色差物镜为例,优化设计与之相匹配的Nomarski棱镜。设偏振光束主波长λd=587.56 nm,物镜主要技术参数:数值孔径NA=0.25,焦距f=-20 mm,物镜后焦平面距离L=-8.2 mm。Nomarski棱镜组通过一块金属拉板安装在物镜转换器座内,Nomarski棱镜组安装结构示意如图10所示,图示中h为棱镜相干平面距离,从系统结构分析,h值要求在35 mm左右比较理想。

由图4和图5可知,当楔角γ∈[0.1°,0.3°],光轴倾角ν∈[-20°,0°]时,相干平面距离h可能符合设计要求。当γ值较小时,相干倾角η随楔角γ变化不大而基本上由光轴倾角ν决定[10],在MATLAB程序中将光轴倾角ν设为变量,假设楔角γ=0.1°,厚度d=2.0,得到αi、η与ν值见表1。在MATLAB程序中,将楔角γ与厚度d作为变量,以表1中的入射角αi对应的倾角ν作为设计取值,求取符合相干平面距离h与分束角要求的几组棱镜主要结构参数值,见表2。根据分束角ε≤0.004 1°,同时考虑棱镜制造工艺,要求楔角与厚度值大一些,因此本设计实例选择入射角αi=-4.05°,光轴倾角ν=-8.889°,棱镜楔角γ=0.20°,棱镜厚度d=3.333 mm,得到棱镜相干平面处于棱镜外部,与棱镜出射表面相距34.90 mm,分束角ε=0.003 571°,小于显微物镜分辨率角0.004 1°。光程差Δ=0.009 6 mm,即通过棱镜的偏振光束产生的纵向剪切量接近于显微物镜1倍焦深值。5结论在Nomarski棱镜优化设计过程中,要综合考虑显微镜系统结构与光学制造工艺,优先确立相干平面距离h、棱镜厚度d以及入射角度αi的取值范围,这样有利于运用MATLAB程序对棱镜主要结构参数之间的关系进行优化分析,可得到更加直观的关系变化曲线,使复杂的数据计算转变为系统结构与工艺性能分析,得到的设计结果更具有应用价值。参考文献:

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(编辑:刘铁英)


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